消息称华为已提出适用于 3D
消息稱華為已提出適用于 3D-DRAM 的 CAA 晶體管
中國通信設備巨頭華為提出了一種適用于 3D-DRAM 構建的垂直通道全能(channel-all-around,CAA)晶體管 。
據(jù) eeNews 報道 ,該提案被包含在一篇論文中 ,將在 2022 年 IEEE 超大規(guī)模集成電路技術和電路研討會上提交,該研討會定于 6 月 12 日至 17 日在夏威夷檀香山舉行。

該器件是一種銦鎵氧化鋅(IGZO)場效應晶體管(FET),其 IGZO 、高 k 電介質氧化鉿和 IZO 層圍繞一個垂直柱排列。IGZO 厚度約為 3nm 。HfOx 和 IZO 的厚度約為 8nm 。垂直方向的通道長度為 55nm